1.电源线连接不正确——检查、维修电源线；
2.供给电机的电源电压与电机不匹配——更换电机；
3.电机发生故障——更换电机；
4.泵油温度低于10℃——加热真空泵或使用其他类型的真空泵油；
5.泵油太粘稠——换油；
6.排气过滤器或排气管道被堵塞——清洗过滤器或排气管道；
7.泵被卡死——维修泵。
常见故障二：真空泵达不到极限压强
可能的原因以及对应的维修方法：
1.测量方式或规管不合适——使用正确的测量方法及规管/在泵的进气口处直接测量真空度；
2.防返油阀失效——维修防返油阀；
3.排气阀故障——维修排气阀；
4.真空泵油不合适——换油（必要时对油脱气）；
5.进气口被污染——清洗抽气管道；
6.泵的抽速太小——确认系统参数，必要时换泵。
常见故障三：泵的抽速太慢
可能的原因以及对应的维修方法：
1.进气口或进气管道被堵塞——清洗进气管道（在进气口前安装一个杂物过滤器，可预防此类故障）；
2.排气过滤器被堵塞——更换过滤器；
3.连接的真空管直径太小或管道太长——使用直径足够大的管道或短的连接管道。
常见故障四：停泵以后，被抽容器中的压强上升过快
可能的原因以及对应的维修方法：
1.真空系统有泄露——对系统进行检查；
2.防返油阀故障——维修防返油阀。
常见故障五：真空泵在运行中温度过高
可能的原因以及对应的维修方法：
1.冷却泵所需的风受阻——正确的安装真空泵（电机后部应留足够的空间）；
2.泵工作的环境温度太高——降低环境温度、最高允许环境温度为40℃；
3.所抽气体的温度太高——改变工艺；
4.油位太低——加油；
5.油不合适——换油；
6.真空泵油的循环受阻——清晰或维修进油嘴；
7.排气过滤器或排气管道被堵塞——更换过滤芯、清洗排气管道；
8.排气阀故障——维修排气阀；
9.泵腔被磨损——更换泵腔部件。
常见故障六：在真空管道中或被抽容器中发现油
可能的原因以及对应的维修方法：
1.油来自真空系统——检查真空系统；
2.防返油阀失效——清洗或维修防返油阀；
3.防返油阀的密封面磨损或太脏——清洗或维修进气口和防返油阀；
4.油位过高——放掉多余的泵油。
